：能为10万片/月。晶圆再生其中涉及CMP工艺的抛光环节可以高精度修复前段工艺留下的不平整晶圆表面，是晶圆再生工艺流程的核心技术难点，属于公司CMP主业的技术外延，公司晶圆再生业务具备突出重围的潜力，有望成为公司新的增长点。盈利预测与投资评级：我们预计2022-2024年公司营业收入分别为1。”

　　1.本土CMP设备龙头，业绩持续高速增长公司是本土CMP设备龙头，12英寸CMP设备唯一国产供应商，供货中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔等海内外半导体头部客户，业绩持续大幅增长。

　　4.2）利润端：2020年公司扭亏为盈，2021年实现归母净利润1.98亿元，同比+103%，2022Q1达到0.91亿元，同比+122%，延续高速增长。

　　6.逻辑一：CMP新增需求超500亿元，公司CMP业务有较大成长空间中国成为全球晶圆扩产中心，根据集微咨询，中国未来5年将新增25座12英寸晶圆厂，总规划月产能将超过160万片，我们预估对CMP设备的需求将达到563亿元。

　　8.公司为本土12英寸CMP设备唯一国产供应商，2018-2020年在本土CMP设备市占率分别为1.05%、6.12%和12.64%，持续大幅提升。

　　10.若仅考虑在本土新建12英寸晶圆厂扩产需求带动下，我们中性预计2022-2026年公司CMP设备收入规模合计可达197亿元。

　　11.逻辑二：CMP后市场是重要组成部分，公司耗材服务收入快速提升CMP设备耗材使用量大、核心零部件需定期维保，是后服务市场需求较大的环节。

　　12.1）受益本土晶圆厂大规模扩产，我们预估仅2022-2026年中国12英寸晶圆新增产能，在2026年对CMP设备配套耗材、7分区抛光头维保服务的需求就分别可达12、36亿元。

　　15.中性情形下，仅考虑2022-2026年本土新建12英寸晶圆厂扩产需求，我们预计公司CMP设备配套材料&技术服务的远期收入规模将达到16.58亿元。

　　16.逻辑三：晶圆再生需求日益增长，IPO扩产将成公司新的增长点晶圆再生主要用于晶圆制造产线中测试片的回收再利用，我们预计2026年中国晶圆再生市场规模可达19亿元（仅考虑12英寸）。

　　17.1）全球晶圆再生产能高度集中于日本和中国，在本土至纯科技、协鑫集成等企业均在积极布局晶圆再生业务，合计设计产能达到111万片/月。

　　19.晶圆再生其中涉及CMP工艺的抛光环节可以高精度修复前段工艺留下的不平整晶圆表面，是晶圆再生工艺流程的核心技术难点，属于公司CMP主业的技术外延，公司晶圆再生业务具备突出重围的潜力，有望成为公司新的增长点。

　　20.盈利预测与投资评级：我们预计2022-2024年公司营业收入分别为16.79、25.19和32.74亿元，当前市值对应动态PS分别为15、10和8倍。