时表示,公司潜江CMP软垫工厂是全球首家型号全布局的软抛光垫工厂,拥有高度自动化水平生产线,具备为客户定制开发特定需求抛光垫产品的能力,主要产品类型包括 在用精抛垫方面,公司已量产各种类型软抛光垫,全面覆盖Cu barrier(铜阻挡层)、W buff(钨制程精抛)、Oxbuff(氧化硅制程精抛)、Grinding(晶背研磨)等制程,部分产品在客户端批量使用,其余客户测试反馈积极,大部分进入到产品测试阶段,预计明年实现产销量的快速增长。 在大硅片用抛光垫方面,小尺寸产品在客户端取得正面反馈,部分客户已经推进到产品测试阶段,年底前有望取得订单;大尺寸产品持续打造上游材料和设备供应链,预计将于明年上半年实现量产。