公司是本土CMP设备龙头，12英寸CMP设备唯一国产供应商，供货中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔等海内外半导体头部客户，业绩持续大幅增长。1）收入端：2021年公司营业收入达到8.05亿元，2017-2021年CAGR高达155%，2022Q1同比+193%。2021年末公司未发出产品的在手订单超过70台，将保障短期收入端延续高速增长。2）利润端：2020年公司扭亏为盈，2021年实现归母净利润1.98亿元，同比+103%，2022Q1达到0.91亿元，同比+122%，延续高速增长。2020-2022Q1公司扣非后销售净利率分别为3.79%、14.16%和22.37%，真实盈利水平持续大幅提升。

　　中国成为全球晶圆扩产中心，根据集微咨询，中国未来5年将新增25座12英寸晶圆厂，总规划月产能将超过160万片，我们预估对CMP设备的需求将达到563亿元。1）全球CMP设备由AMAT和日本荏原主导，2019年全球市占率合计高达95%。公司为本土12英寸CMP设备唯一国产供应商，2018-2020年在本土CMP设备市占率分别为1.05%、6.12%和12.64%，持续大幅提升。2）公司CMP设备已应用于当前国内大生产线nm也在客户验证，将充分受益进口替代趋势。若仅考虑在本土新建12英寸晶圆厂扩产需求带动下，我们中性预计2022-2026年公司CMP设备收入规模合计可达197亿元。

　　CMP设备耗材使用量大、核心零部件需定期维保，是后服务市场需求较大的环节。1）受益本土晶圆厂大规模扩产，我们预估仅2022-2026年中国12英寸晶圆新增产能，在2026年对CMP设备配套耗材、7分区抛光头维保服务的需求就分别可达12、36亿元。2）2021年公司CMP配套材料及技术服务收入达到1.11亿元，2018-2021年CAGR高达205%。我们判断随着公司CMP设备持续大规模出货，后服务业务有望保持高速增长态势。中性情形下，仅考虑2022-2026年本土新建12英寸晶圆厂扩产需求，我们预计公司CMP设备配套材料&技术服务的远期收入规模将达到16.58亿元。

　　晶圆再生主要用于晶圆制造产线中测试片的回收再利用，我们预计2026年中国晶圆再生市场规模可达19亿元（仅考虑12英寸）。1）全球晶圆再生产能高度集中于日本和中国，在本土至纯科技、协鑫集成等企业均在积极布局晶圆再生业务，合计设计产能达到111万片/月。2）公司IPO募投加码晶圆再生业务，规划产能为10万片/月。晶圆再生其中涉及CMP工艺的抛光环节可以高精度修复前段工艺留下的不平整晶圆表面，是晶圆再生工艺流程的核心技术难点，属于公司CMP主业的技术外延，公司晶圆再生业务具备突出重围的潜力，有望成为公司新的增长点。

　　盈利预测与投资评级：我们预计2022-2024年公司营业收入分别为16.79、25.19和32.74亿元，当前市值对应动态PS分别为15、10和8倍。考虑到公司成长性较为突出，首次覆盖，给予“买入”评级。